硅微机械传感器

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【书　　名】 硅微机械传感器
【作　　者】 陶家渠译本
【出 版 社】 国防工业出版社
【出版日期】 2005年
【格　　式】 PDF
【大　　小】 8MB，共3个压缩包，共316页
【价 格】 32元
【内容介绍】 本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识，只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求，本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。
【目 录】

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